超音波清洗座

摘要

一种超音波清洗座，应用于清洗一基板，基板具有一朝下的欲清洗面，超音波清洗座包括一超音波振动源及一进水座，进水座包括一进水通道及一容置孔，进水通道的一端连通至进水座的顶面，且进水通道与该容置孔相连通，超音波振动源容置于容置孔；其中进水座与基板间具有一预定间距，令由进水通道进入并经过超音波振动源的液体充满预定间距，且液体由进水座的边缘流走以远离基板。