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发明名称
物体制造缺陷的应用方法
摘要
一种物体制造缺陷的应用方法,包括步骤如下:从一物体的制造过程取得一缺陷影像,缺陷影像包括一缺陷及缺陷周围的多个已制造出的电路图案;取得缺陷的座标;取得物体的一设计规划图,设计规划图包括多个设计电路图案;调整缺陷影像及设计规划图的单位尺寸为一致;从缺陷影像中撷取出缺陷的轮廓;依据缺陷的座标,将缺陷的轮廓叠置于设计规划图上;以及藉由分析缺陷的轮廓与设计电路图案的重叠情形,来判断缺陷是否在设计规划图上导致一断路错误或一短路错误。藉此,物体的健康状况可在制造过程中监控,不用等到制造过程结束后才能得知。
申请公布号
TWI409661
申请公布日期
2013.09.21
申请号
TW098139217
申请日期
2009.11.18
申请人
吕一云
发明人
吕一云
分类号
G06F19/00;G01N21/956;H01L21/00
主分类号
G06F19/00
代理机构
代理人
庄志强 台北市大安区敦化南路2段71号18楼;王云平 台北市大安区敦化南路2段71号18楼
主权项
地址
新竹市东区科学园路107巷18号8楼之2 TW 8F.-2, NO. 18, LANE 107, KESYUEYUAN RD., EAST DISTRICT, HSINCHU CITY 300, TAIWAN, R. O. C.
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