表面具微沟槽之化学机械平坦化垫

摘要

本发明提供一种抛光垫，其可包含直径在约5微米至80微米范围内之复数个可溶性纤维、以及一不溶性成分。该垫亦可包含具复数个微沟槽之一第一表面，其中该等可溶性纤维于该垫中形成该等微沟槽。该等微沟槽可具有在5微米至150微米范围内之一宽度及/或深度。另外，本发明揭示一种形成该抛光垫之方法以及一种使用该抛光垫来抛光一表面之方法。