研磨方法、研磨垫及研磨系统

摘要

一种研磨方法、研磨垫及研磨系统，此研磨方法首先提供具有多个沟槽的研磨垫，每一沟槽的宽度为W，且相邻两沟槽之间的间距为P。设定一物件在此研磨垫上的摆动距离，此摆动距离使物件上任一特定点与其中心点间的方向，垂直于沟槽切线方向位置时，经过的沟槽次数相同。接着，以此摆动距离对此物件进行研磨步骤，此摆动距离可以使物件表面获得较佳的研磨均匀度。