自动转换盘装置

摘要

本发明系关于一种自动转换盘装置，其是将不同规格之供料盘与集料盘分别承载于供料载台与集料载台上，控制器之记忆体内预先储存有上述供料盘各容置槽的位置资料、及集料盘各凹槽的位置资料，因此控制器可据以控制一取放装置自供料盘逐一取出晶片并逐一放置入集料盘上，其有利于不同规格之供料盘与集料盘间进行自动转换晶片装载盘作业，可以增进取放晶片工作效率、及降低晶片的损坏率。此外，供料载台与集料载台亦分别沿其滑轨退至后方之空盘位置，可再透过集盘装置自动将空盘或满盘载出，更可增进工作效率。