一种半导体元件结构

摘要

本发明系提供一种半导体元件结构，其包含一基板及一图案化层。该图案化层经图案化而具有设置在基板上之开放区及密集区。该图案化层包含在密集区中之一第一图案，邻接于该开放区，及一第二图案。该第一图案具有一第一底部宽度。第二图案具有第二底部宽度。该第一图案之底部包含一面对该开放区之凹处，以致于第一底部宽度系接近该第二底部宽度。