载台装置

摘要

将被支撑在可朝一水平方向移动的第1载台上之第2载台的震动予以制振。载台装置具备：可朝X方向移动的XY轴载台、在XY轴载台上由支撑部所支撑的Z轴载台、朝X方向彼此被分离配置而用于侦测Z轴载台的Z方向速度之一对之刻度计、朝X方向彼此被分离配置而用于将Z轴载台朝垂直方向驱动的一对之电动机、根据侦测到的Z方向速度来控制电动机之驱动的控制器，藉由以刻度计侦测Z方向速度的方式，求出Z轴载台的俯仰(Pitching)震动举动，驱动电动机，使Z轴载台朝俯仰方向旋转以抵消俯仰震动。