具多输入讯息之微型触控装置

摘要

一种具多输入讯息之微型触控装置至少包含一矽基板、数个感测元以及一组积体电路。感测元位于矽基板之正面上，用以感测一物体之不同部分接触于感测元上之数个物理量变化，并产生数个电讯号。感测元至少包含数个下导体层、一支撑结构层及一悬浮触控层。支撑结构层位于各下导体层之周围。悬浮触控层位于此等下导体层之上方以及支撑结构层上。悬浮触控层与各下导体层之间形成一间隙，各悬浮触控层系可被物体之此等不同部分接触以产生物理量变化。此组积体电路系形成于矽基板之正面，并电连接至各感测元，藉以处理此等电讯号以产生多输入讯息。