| 摘要 |
本发明系关于一种可产生稳定多光涡流光束之干涉仪装置及干涉方法，该干涉仪装置包括一分光镜、一杜夫棱镜、一偏极化分光镜及一相位延迟装置。该分光镜系用以将一输入光束分成一第一光束及一第二光束。该杜夫棱镜系以该第一光束之光轴为中心旋转45度，该杜夫棱镜接受该第一光束，且使得该第一光束于其内经过一次内全反射而形成一椭圆偏振光束。该偏极化分光镜系用以将该椭圆偏振光束分成一第三光束及一第四光束。该相位延迟装置包括至少二平面镜，用以将该第二光束反射至该偏极化分光镜而形成一第五光束，该第五光束与该第三光束具有一相位延迟，且该第五光束与该第三光束叠加且干涉后形成一输出之多光涡流光束。藉此，本发明所输出之多光涡流光束可以是阵列型多光涡流光束，且该多光涡流光束系为稳定之光束。 |
