触控面版的制造方法及成膜装置

摘要

一种触控面板之制造方法，其特征在于：其系制造包含透明基板之触控面板者，该透明基板具有透明导电膜所成膜之主面，该方法系于上述透明基板之上述主面上，在包含选自氢气、氧气、水蒸气之群中之两种或三种的反应性气体环境中，使用包含氧化锌系材料之靶材而实施溅镀法，藉此成膜出上述透明导电膜。