处理气流之方法

摘要

本发明描述一种处理包含氟(F2)气之气流之方法。在一较佳实施例中，该方法包含以下步骤：将该气流输送至一含有经加热材料床之反应腔室中，该材料可与F2反应形成无机氟化物；及至少部分排空该反应腔室，以便将该气流于低气压下输送至该反应腔室中及自该反应腔室输出。