感光性绝缘树脂组成物及其硬化物与具备其之电子零件

摘要

本发明之目的系提供，相对于g线、h线之感度良好，且可形成解像性、电绝缘性、热冲击性等诸特性优越之表面保护膜、层间绝缘膜、平坦化膜的感光性绝缘树脂组成物及其硬化物以及具备其硬化物之电子零件。;本发明之感光性绝缘树脂组成物含有：具酚性羟基之硷可溶性树脂，与由下述一般式(1)所示之s－三嗪衍生物所成的感放射线性酸产生剂，及交联剂。;(1);[式中，R为氢原子、碳数1~4之烷基或碳数1~4之烷氧基；X为卤原子；Y为氧原子或硫原子]。