发明名称 嵌入式元件基板及其制造方法
摘要 嵌入式元件基板之一实施例包括:(1)一半导体元件,包括下表面、侧向表面、以及上表面;(2)一第一图案化导电层,包括一第一电性互连件,此第一电性互连件系于第一图案化导电层中实质上侧向延伸;(3)一第二电性互连件,自第一电性互连件之一第一表面实质上垂直延伸,且包括侧向表面、上表面、以及一邻接于此第一表面之下表面;(4)一介电层,包括一开口,此开口自介电层之一上表面延伸至介电层之一下表面,其中:(a)介电层实质上覆盖元件之侧向表面及上表面,且至少覆盖第二电性互连件之侧向表面之一部份;以及(b)第二电性互连件系实质上填充此一开口;以及(5)一第二图案化导电层邻接至介电层及第二电性互连件之上表面。
申请公布号 TWI410190 申请公布日期 2013.09.21
申请号 TW099113535 申请日期 2010.04.28
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 高雄市楠梓加工区经三路26号 发明人 苏洹漳;黄士辅;李明锦;王建皓
分类号 H05K1/18;H05K3/46 主分类号 H05K1/18
代理机构 代理人 祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2
主权项
地址 高雄市楠梓加工区经三路26号