制造装置

摘要

本发明的目的是提供一种蒸气沉积装置，该装置藉由提高EL材料的利用效率而减少制造成本，并在形成EL层的产量或均匀性上是优越的。本发明并且提供一种蒸气沉积方法。本发明的特征是在蒸气沉积室内，使安装了储藏蒸发材料的容器的蒸发源托架104a、105a相对于基底101，只向一个方向(例如Z轴方向)以一定速度移动(或来回移动)，而且，在和蒸发源托架的移动方向正交的方向(例如X轴方向)上以一定间隔搬运基底。