| 摘要 |
具有重量平衡与高稳定性之光学装置(92)，包含内环(42)、以及将假想刚体(M)支撑成能相对外环(48)移动之驱动机构(46A~46C)，该假想刚体(M)，系由对光轴(AX)成非对称形状之光学元件(M2)、与用以保持光学元件而固定于内环之光学元件保持构件(44A~44C)构成。内环、外环、以及驱动机构，具有平行连杆机构(41)之功能。配重(BW,M2c)，系以假想刚体之重量会大致均等地施加于驱动机构之方式设于假想刚体。因此，光学元件在受到来自外部之振动时或进行调整时，即不易产生振动。本发明之光学装置，可适用于对曝光精度要求较高之曝光装置。 |
