发明名称 |
输送装置 |
摘要 |
一种输送装置,包括一本体、至少一滚轮、至少一承载架以及至少一微减震单元。本体包括一支撑结构以及一承载结构,该承载结构连接该支撑结构。滚轮连接于该本体。承载架由该承载结构所承载。微减震单元设于该承载架与该承载结构之间。 |
申请公布号 |
TWI409206 |
申请公布日期 |
2013.09.21 |
申请号 |
TW099120208 |
申请日期 |
2010.06.22 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |
发明人 |
张智能;徐岳圣;林嘉祺;萧博戎;唐炳顺;朱良堃;张家铭 |
分类号 |
B65G49/07;H01L21/677 |
主分类号 |
B65G49/07 |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
主权项 |
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地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |