发明名称 输送装置
摘要 一种输送装置,包括一本体、至少一滚轮、至少一承载架以及至少一微减震单元。本体包括一支撑结构以及一承载结构,该承载结构连接该支撑结构。滚轮连接于该本体。承载架由该承载结构所承载。微减震单元设于该承载架与该承载结构之间。
申请公布号 TWI409206 申请公布日期 2013.09.21
申请号 TW099120208 申请日期 2010.06.22
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 发明人 张智能;徐岳圣;林嘉祺;萧博戎;唐炳顺;朱良堃;张家铭
分类号 B65G49/07;H01L21/677 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号