发明名称 电容元件,其设计方法及包含其之积体电路装置
摘要 本文揭示一种由多层布线形成的电容元件,其中藉由改变关于一积体电路中之多层布线之参数来计算复数个装置结构之一总电容、层内电容及层间电容,自该复数个装置结构中识别一装置结构,该经识别装置结构与该等装置结构之间的总电容差等于或小于一预定位准,且该经识别装置结构之该层内电容对该总电容之比率或该层间电容对该总电容之比率之至少一者满足一预定条件,且判定满足该预定条件之该装置结构之参数为该等多层布线之参数。
申请公布号 TWI409660 申请公布日期 2013.09.21
申请号 TW098146031 申请日期 2009.12.30
申请人 新力股份有限公司 日本 发明人 出羽恭子;安茂博章;榎本容幸
分类号 G06F17/50;H01L27/04 主分类号 G06F17/50
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本