旋转阀及吸附分离装置

摘要

本发明系提供一种具有用以将含有水蒸气之处理气体供给至多数处理步骤中之滑动构件之旋转阀。本发明之旋转阀，系包含有：滑动构件，其流路具有开口且设有可相互滑动之滑动面；及机械密封机构，可藉由一边对前述滑动面施压以密封流体一边滑动，以切换前述流路，且前述滑动构件之滑动面侧由硬度不同之疏水性构件构成。