基板收纳设备、基板处理设备及基板收纳设备之作动方法

摘要

提供一种可维持基板之清洁度且可减低设备费用之基板收纳设备。控制将收纳容器搬送至位于出入库部及收纳架之收纳部的收纳容器搬送装置之作动，俾以收纳容器之装设有风扇过滤单元之侧位于移动空间侧且收纳容器之出入口侧位于远离移动空间之侧之状态，将收纳容器收纳于收纳部。