| 摘要 |
一种即使被处理基板为大型，亦可以藉由升降销确实支撑被处理基板，并有效果抑止被处理基板之变形的基板载置机构。;其解决手段为具备：承载器4，当作载置具有可挠性之基板G之载置台；升降销8a、8b，被设置成对承载器之载置面伸缩自如，各支撑基板G之边缘部及部而在执行交接承载器4之上方之基板的交接位置和承载器4上之载置位置之间予以升降；驱动部9a、9b，当作使升降销8a、8b驱动之驱动机构，驱动部9a、9b是于使基板G升降时，使升降销8a突出比升降销8b更高，基板G在下方弯曲成凸状之状态下藉由升降销8a、8b被安定支撑。 |
