摘要 |
1. Подложка, содержащая слой, включающий алмазоподобный углерод (DLC), закрывающий, по меньшей мере частично, поверхность подложки, отличающаяся тем, что по меньшей мере некоторые из точечных дефектов, предпочтительно большинство точечных дефектов DLC-содержащего слоя закрыты по меньшей мере одним материалом, отличным от DLC-содержащего слоя.2. Подложка по п.1, отличающаяся тем, что по меньшей мере один материал содержит Si, и тем, что, когда DLC-содержащий слой сам содержит Si, то есть в местах, не являющихся точечными дефектами, концентрация Si в по меньшей мере некоторых точечных дефектах DLC-содержащего слоя выше средней концентрации Si в DLC-содержащем слое.3. Подложка по п.1 или 2, отличающаяся тем, что по меньшей мере один материал покрывает слой, содержащий алмазоподобный углерод, тем самым закрывая точечные дефекты.4. Подложка по п.1 или 2, отличающаяся тем, что данный по меньшей мере один материал является одним из или комбинацией элементов из группы, состоящей из Si-C-H, Si-C-N, Si-C-H-N, однако предпочтительно Si-C-H.5. Подложка по п.3, отличающаяся тем, что этот, по меньшей мере один, материал является одним из или комбинацией элементов из группы, состоящей из Si-C-H, Si-C-N, Si-C-H-N, однако предпочтительно Si-C-H.6. Подложка по любому из пп.1, 2 или 5, отличающаяся тем, что между DLC-содержащим слоем и подложкой предусмотрен адгезионный слой, причем материал адгезионного слоя предпочтительно является материалом, выбранным из группы, состоящей из хрома, Cr-C, Si-C-H, Cr-Si и Cr-N или комбинации двух или более из них.7. Подложка по п.3, отличающаяся тем, что между DLC-содержащим слоем и подложкой предусмотрен адгезионный слой, причем материал адгезионного слоя предпочтите� |