摘要 |
Резонансный микромеханический акселерометр, содержащий основание, чувствительный элемент, стержневой резонатор, упругие элементы, отличающийся тем, что сформирована внешняя рамка, чувствительный элемент выполнен в виде двух маятников, закрепленных на внешней рамке симметрично относительно поперечной оси, стержневой резонатор закреплен одним концом с одним маятником, а другим концом со вторым маятником, причем в местах закрепления стержневого резонатора с маятниками сформированы сквозные П-образные сквозные щели, на внешней рамке на поперечной оси сформированы консоли, на которых расположены площадки крепления к основанию, кроме того, в местах сопряжения внешней рамки и консолей сформированы Т-образные сквозные щели. |