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Eine Ladungspartikelstrahl-Vorrichtung enthält: eine Probenkammer; eine Probenstufe; ein Elektronenstrahl-Bestrahlungssystem zum Bestrahlen der Probe mit einem Elektronenstrahl; ein Bestrahlungssystem eines fokussierten Ionenstrahls zum Bestrahlen der Probe mit einem fokussierten Ionenstrahl; eine Probenstufe-Antriebseinheit, welche eine Drehachse hat, welche zu einer Bestrahlungsachse des Elektronenstrahl-Bestrahlungssystems und/oder einer Bestrahlungsachse des Bestrahlungssystems eines fokussierten Ionenstrahls senkrecht steht; und einen Proben-Transportmechanismus zum Transportieren der Probe zur Probenstufe. Der Proben-Transportmechanismus umfasst einen Transportweg, welcher in der Probenstufe-Antriebseinheit in einer Richtung parallel zur Drehachse von der Probenstufe-Antriebseinheit bereitgestellt ist, und ausgelegt ist, die Probe über den Transportweg zur Probenstufe zu transportieren.
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