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Bei einem Mikroskop zur hochauflösenden Scanning-Mikroskopie einer Probe (2), mit – einer Beleuchtungseinrichtung (3) zum Beleuchten der Probe (2), – einer Abbildungseinrichtung (4) zum Scannen mindestens eines Punkt- oder Linien-Spots (14) über die Probe (2) und zum Abbilden des Punkt- oder Linien-Spots (14) in ein beugungsbegrenztes, ruhendes Einzelbild (17) unter einem Abbildungsmaßstab in eine Detektionsebene (18), – einer Detektoreinrichtung (19) zum Erfassen des Einzelbildes (17) in der Detektionsebene (18) für verschiedene Scanpositionen mit einer Ortauflösung, welche unter Berücksichtigung des Abbildungsmaßstabes mindestens doppelt so groß ist wie eine Halbwertsbreite des beugungsbegrenzten Einzelbildes (17), – einer Auswerteeinrichtung (c) zum Auswerten einer Beugungsstruktur des Einzelbildes (17) für die Scanpositionen aus Daten der Detektoreinrichtung (19) und zum Erzeugen eines Bildes der Probe (17), das eine Auflösung aufweist, die über die Beugungsgrenze gesteigert ist, ist vorgesehen, daß – die Detektoreinrichtung (19) aufweist: – ein Detektorarray (24), das Pixel (25) aufweist und größer ist als das Einzelbild (17), und – ein nicht-abbildendes Umverteilungselement (20–21; 30–34; 30–35), das dem Detektorarray (24) vorgeordnet ist und die Strahlung aus der Detektionsebene (18) nicht-abbildend auf die Pixel (25) des Detektorarrays (24) verteilt. |
