用于在样品上形成干涉光栅的设备

摘要

本发明涉及一种在样品上形成干涉光栅的设备，包括：发射波长为λ的光束的激光器；分束器，其将激光器发射的光束分成第一光束（11）和第二光束（14），第一光束（11）在第一方向上被偏转；第一静止的偏转镜，其将第一光束以恒定的第一入射角偏转到样品的一点（P）上；和至少一个第二静止的偏转镜，其使第二光束根据最终路径（17）偏转，最终路径以第二入射角θ2到达样品的点（P），从而在样品上形成干涉光栅，其栅距取决于第一入射角与第二入射角间的角度差θ，第二光束的路径的特征在于，其包括可移动的偏转镜（7、7’），该偏转镜将第二光束导向和偏转到第二镜（8、M2），从而改变入射角θ2的值，因此改变角度差θ。在可移动的镜上的偏转点的线性路径或抛物线路径可以至少部分地补偿第二光束的光程上的变化。

主权项

一种用于在样品上形成干涉光栅的设备，所述设备包括：激光器，所述激光器发射波长为λ的光束；分束片，所述分束片将所述激光器发射的光束分成第一光束（11）和第二光束（14），所述第一光束（11）在第一方向上被偏转；第一静止的偏转镜，所述第一静止的偏转镜用于将所述第一光束以恒定的第一入射角θ1偏转到所述样品的点P上；以及至少一个第二静止的偏转镜，所述至少一个第二静止的偏转镜用于使所述第二光束沿着最终路径（17）偏转，所述最终路径以第二入射角θ2到达所述样品的所述点P，从而在所述样品上形成干涉光栅，所述干涉光栅的栅距取决于所述第一入射角θ1与所述第二入射角θ2之间的角度差θ，所述第二光束的路径的特征在于，其包括可移动的偏转镜（7、7’），所述可移动的偏转镜用于自多个第一入射点（71）导向和偏转所述第二光束，所述第二光束（15）从所述多个第一入射点（71）被朝向所述第二镜（8、M2）上的多个第二入射点（82）导向，从而形成多个入射点对，每个入射点对均包括第一入射点（71）和第二入射点（82），每个入射点对均对应于角度θ2的值不同的第二光束的所述最终路径（17），从而引起所述入射角θ2的值改变，因此改变所述角度差θ，以及特征在于，所述第一入射点（71）布置在线性路径或抛物线路径上，所述线性路径或抛物线路径自远离所述样品的上游端延伸，其中，所述上游端在与所述第一方向相反的方向上与所述激光器发射的光束（10）的方向间隔开，因此远离所述第一光束的入射在所述样品（ECH）的所述点P上的部分（12），所述线性路径或抛物线路径在朝着更接近所述样品（ECH）的下游端行进时，以凹角朝向所述第一光束的所述部分（12），从而对于第一入射点（71）和第二入射点（82）的入射点对至少部分地补偿所述第二光束的光程长度变化，每个入射点对均对应于所述角度差θ的相应的值。