一种基于玻璃微管的单纳米孔传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种基于玻璃微管的单纳米孔传感器，玻璃微管，其包括位于一端的突起；单纳米孔，设置在所述突起中；两流体室，分别设置在单纳米孔的两端，且两流体室通过单纳米孔相连接；用于给两流体室施加电压的第一电压源；两Pt电极，设置在突起上且位于单纳米孔的上、下侧；用于检测两Pt电极之间电流的电流表，电流表的两端分别与两Pt电极相连接；和用于给两Pt电极施加电压的第二电压源；所述单纳米孔和流体室中均设有电解液。本发明的传感器采用四电极，可以获得径向电流和轴向电流，使得本发明的传感器具有较高的灵敏度，且本发明的方法简单，可以大大的降低传感器的制造成本。

主权项

基于玻璃微管的单纳米孔传感器的制造方法，包括以下几个步骤：（a）在玻璃微管（1）内密封固态石蜡（2）,然后对玻璃微管（1）进行局部加热，使玻璃微管（1）熔封、拉断，熔封的玻璃微管（1）内部形成一个锥形的纳米通道（6）；（b）用丙酮去除玻璃微管（1）中的石蜡（2），并用砂轮磨削位于突起（5）处的纳米通道（6），突起（5）中得到一个单纳米孔（3），在单纳米孔（3）的两端分别连接一个流体室，在单纳米孔（3）和两流体室中均装电解液；（c）采用原子层沉积的方法，在突起（5）上且位于单纳米孔（3）的上、下侧形成两个Pt电极（4），用电流表（7）检测两Pt电极（4）之间的电流，电流表（7）的两端分别与两Pt电极（4）相连接；（d）在两流体室之间加第一电压源，在两Pt电极（4）之间加第二电压源；所述基于玻璃微管的单纳米孔传感器，包括玻璃微管（1），其包括位于一端的突起（5）；单纳米孔（3），设置在所述突起（5）中；两流体室，分别设置在所述单纳米孔（3）的两端，且两流体室通过单纳米孔（3）相连接；用于给两流体室施加电压的第一电压源；两Pt电极（4），设置在所述突起（5）上且位于所述单纳米孔（3） 的上、下侧；用于检测两Pt电极（4）之间电流的电流表（7），所述电流表（7）的两端分别与两Pt电极（4）相连接；和用于给两Pt电极（4）施加电压的第二电压源；所述单纳米孔（3）和流体室中均设有电解液；所述单纳米孔（3）的直径为1～100nm。