用于微流体核磁共振检测的微型螺线管射频线圈及其制造方法

摘要

本发明涉及一种用于微流体核磁共振检测的微型螺线管射频线圈及其制造方法，包括位于绝缘衬底上的底层斜条形线圈、左右两排底部线圈，设置在底部线圈顶部的柱形线圈，位于左右两排底部线圈之间的微流通道，以及位于微流通道上方的顶层斜条形线圈；底层斜条形线圈的两端分别与左右两排底部线圈错位连接，顶层斜条形线圈的两端分别与设置在底部线圈顶部的柱形线圈错位相连，底层斜条形线圈和顶层斜条形线圈的倾斜方向相反。本发明采用光刻胶光刻技术和铜电镀线圈技术进行制造。本发明克服微米尺度螺线管射频线圈不易缠绕等不足，又具有射频磁场均匀度高等优点，可以用于稀少和贵重样品的核磁共振检测。

主权项

一种用于微流体核磁共振检测的微型螺线管射频线圈，其特征在于包括位于绝缘衬底（1）上的底层斜条形线圈（2）、左右两排底部线圈（7），设置在底部线圈（7）顶部的柱形线圈（3），位于左右两排底部线圈（7）之间的微流通道（4），以及位于微流通道（4）上方的顶层斜条形线圈（5）；底层斜条形线圈（2）的两端分别与左右两排底部线圈（7）错位连接，顶层斜条形线圈（5）的两端分别与设置在底部线圈（7）顶部的柱形线圈（3）错位相连，底层斜条形线圈（2）和顶层斜条形线圈（5）的倾斜方向相反。