一种基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与装置

摘要

一种基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与装置属于半导体制造装备；该装置包含一个由旋转电机定子、旋转电机动子、嵌入基台内的旋转平台以及回转换台齿轮构成的回转换台装置，在旋转平台上设置有可升降的第一轴接装置和第二轴接装置，第一工件台底部设置第一工件台旋转轴，侧面设置第一工件台转接装置，腰部设置第一工件台齿轮，第二工件台底部设置第二工件台旋转轴，侧面设置第二工件台转接装置，腰部设置第二工件台齿轮；本发明在双台切换过程中，工件台朝向始终不变，解决了现有回转换台方案的线缆不便安装和干涉仪丢失目标的问题，同时本发明具体实施过程中具有转动惯量小，相同换台时间下所需转矩小等优点。

主权项

一种基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法，其特征在于该方法步骤是：系统初始工作状态为预处理工位的第二工件台预对准工作完毕，曝光工位的第一工件台完成曝光工作；第一步，曝光完毕的第一工件台由Y向长行程直线运动单元和X向第一长行程运动单元驱动到换台预定位置，然后安装在回转换台装置上的第一轴接装置升起，并与第一工件台底部的第一工件台旋转轴轴接，同时第二轴接装置与第二工件台底部的第二工件台旋转轴轴接，此时回转换台齿轮与第一工件台齿轮、第二工件台齿轮啮合，然后X向第一长行程运动单元松开第一工件台转接装置，同样X向第二长行程运动单元松开第二工件台转接装置，二者退开一定距离，留出换台空间；第二步，回转换台装置驱动旋转平台顺时针或逆时针旋转180°，第一工件台到达预处理工位，第二工件台到达曝光工位，完成位置交换，在旋转过程中，由于回转换台齿轮与第一工件台齿轮以及第二工件台齿轮之间的传动比为‑1，因此在回转换台装置顺时针或逆时针旋转的同时，第一工件台和第二工件台做逆时针或顺时针自旋，但二者合成运动使第一工件台和第二工件台朝向始终不变；第三步，第一工件台、第二工件台分别与X向第二长行程运动单元对接、X向第一长行程运动单元对接，对接后再与回转换台装置脱离轴接状态，然后第一工件台进行卸片、上片、预对准工作，第二工件台进行曝光处理，最后系统回到初始状态，完成一个工作周期，接下来为下一轮曝光工序，即重复上面的工序和换台流程，但旋转方向与上次相反。