一种光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置

摘要

一种光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置，安装在一底座上，该底座的四个角上各设有一弯板，底座的上方开设有四个沉孔；底座的两侧中间设有转轴，转轴的上部套设有转盘；转盘上水平向地设有叉杆，通过铰链与转盘连接，两个叉杆的另一端之间安装有一拉簧；第一连杆和第二连杆的一端通过铰链与转盘连接，另一端安装有压紧块，压紧块的端部各设有顶柱；上支板设置于压紧块上方；片夹置于上支板的上方，顶柱穿过上支板进入片夹的定位孔内；导锥在两个叉杆之间平行移动使两个叉杆张开或闭合，两个叉杆带动转盘做正或反转动，转盘带动第一连杆和第二连杆对压紧块拉或推；压紧块压在各自对应的压簧上，实现顶柱对片夹在轴向上的定位锁紧与放开。

主权项

一种光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置，安装在一底座上，该底座的四个角上各设有一弯板，底座的上方开设有四个沉孔，该些沉孔分别与后述的压紧块相对应，各沉孔内安装有一压簧；底座的两侧中间各设有一转轴，两个转轴的上部均套设有一转盘；两个转盘上水平向地各设有一叉杆，两个叉杆的一端各套设在通过转盘延伸而出的转轴上，并通过铰链与各自的转盘连接，两个叉杆的另一端之间安装有一拉簧；两个叉杆中的一个叉杆两侧分别设置有第一连杆和第二连杆，另一个叉杆的两侧分别设置有第三连杆和第四连杆；其中第一连杆和第二连杆的一端通过铰链与所述一个叉杆的转盘连接，第三连杆和第四连杆的一端通过铰链与所述另一个叉杆的转盘连接；第一连杆和第二连杆方向相反地另一端通过铰链各安装有压紧块，该些压紧块的端部各设有顶柱；第三连杆和第四连杆方向相反地另一端通过铰链各安装有压紧块，该些压紧块的端部各设有顶柱；一上支板，设置于压紧块上方，上支板上开设有四个通孔；一片夹，置于上支板的上方，该片夹对应上支板通孔的位置上开有不穿透的四个定位孔，顶柱穿过上支板的通孔进入片夹的定位孔内，将片夹顶靠在弯板上，使片夹不产生偏移和摆动；一导锥，在安装有拉簧的两个叉杆一端之间的空隙平行移动，使两个叉杆张开或闭合，两个叉杆带动各自连接的转盘做相应的正向或反向转动，该些转盘带动该些第一连杆和第二连杆以及第三连杆和第四连杆对压紧块拉或推；该些压紧块的下方压在各自对应的压簧上，实现顶柱对片夹在轴向上的定位锁紧与放开。