用于真空炉的烧结排气结构

摘要

本实用新型公开了用于真空炉的烧结排气结构，包括设于真空炉顶部的烧结排气口、滑阀机械泵、罗茨泵、第一烧结管和第一阀门；第一烧结管一端和烧结排气口连接，且另一端和滑阀机械泵连接；罗茨泵设于第一烧结管上，且位于烧结排气口和滑阀机械泵之间；第一阀门设于第一烧结管上，且位于罗茨泵和烧结排气口之间，以实现控制第一烧结管的连通或闭合。本实用新型采用以上结构，根据所需真空度选择滑阀机械泵单独工作，或滑阀机械泵和罗茨泵同时工作的方式，能有效利用资源，降低了生产成本。

主权项

用于真空炉的烧结排气结构，其特征在于：包括设于真空炉顶部的烧结排气口、滑阀机械泵、罗茨泵、第一烧结管和第一阀门；第一烧结管一端和烧结排气口连接，且另一端和滑阀机械泵连接；罗茨泵设于第一烧结管上，且位于烧结排气口和滑阀机械泵之间；第一阀门设于第一烧结管上，且位于罗茨泵和烧结排气口之间，以实现控制第一烧结管的连通或闭合。