一种晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构

摘要

一种晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构，涉及一种晶体材料的生长设备，包括下轴(12)、管路(13)和附加管(19)，在下轴(12)的内壁或外壁设有附加管(19)，所述附加管(19)与下轴(12)的内壁或外壁之间具有间隙(20)；管路(13)间隔设置在下轴(12)内附加管(19)的内孔(21)内或管路(13)间隔设置在附加管(19)包裹的下轴(12)内；本发明通过在下轴的外部或内部添加附加管，由附加管形成对坩埚下部空间的低温影响得到减小，有效地使热能散失问题得到控制，实现了热能温度的最大化利用的目的。

主权项

一种晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构，包括下轴(12)、管路(13)和附加管(19)，在下轴(12)的内壁或外壁设有附加管(19)，所述附加管(19)与下轴(12)的内壁或外壁之间具有间隙(20)；管路(13)间隔设置在下轴(12)内附加管(19)的内孔(21)内或管路(13)间隔设置在附加管(19)包裹的下轴(12)内。