图案修正方法及图案修正装置

摘要

一种能以不污染缺陷部的周围的方式使涂布于缺陷部的修正液的厚度均匀的低成本的图案修正方法及图案修正装置，在该图案修正方法中，在朝液晶滤色片基板的像素的白色缺陷涂布了修正墨水之后，照射激光来加热修正墨水，从而降低修正墨水的粘度来使该修正墨水平坦化。因此，不会因涂布于白色缺陷的修正墨水而污染周围。另外，能使用已有的激光装置，因此，也不会导致高成本。

主权项

一种图案修正方法，是对形成于基板上的图案的缺陷部进行修正的图案修正方法，其特征在于，包括：第一步骤，在该第一步骤中，朝所述缺陷部涂布修正液；以及第二步骤，在该第二步骤中，朝涂布于所述缺陷部的所述修正液照射激光来进行加热，以降低所述修正液的粘度来使所述修正液的厚度均匀。