用于处理至少一个工件的方法和设备

摘要

一种用于处理至少一个工件（114）的设备，该设备包括：壳体（302），该壳体至少部分地包围第一区域（304）和第二区域（306），该第一区域和该第二区域适于通过至少一个通道（314）彼此连通；以及支撑装置（316），该支撑装置（316）用于支撑适于保持所述至少一个工件的承载件（102），且所述支撑装置适于支撑承载件，使得该至少一个工件位于所述第一区域（304）中以用于处理。该设备包括压差产生装置，该压差产生装置用于在第一和第二区域之间产生压差（P2–P1），第二区域的所述至少一个压力（P1）比第一区域的所述至少一个压力（P2）低，用以迫使所述至少一个工件朝着承载件。该至少一个通道（314）适于当承载件（102）被该支撑装置（316）支撑时与第一区域和第二区域均连通，且所述压差产生装置适于引导介质流或媒介流从第一区域通过该至少一个通道流动到该第二区域，以便至少部分地产生该压差。一种用于处理至少一个工件的方法，该方法包括保持该至少一个工件的步骤，该保持步骤包括：通过在第一区域和第二区域之间产生压差（806），迫使该至少一个工件朝着承载件。所述保持步骤包括引导介质流或媒介流从第一区域通过所述至少一个通道流动到第二区域，以便至少部分地产生该压差。处理可以包括喷砂、冲洗或干燥。工件可以包括切削刀片、电子器件、小尺寸加工或成形的组件或部件。

主权项

一种用于处理至少一个工件（114）的设备，所述设备包括：壳体（302），所述壳体至少部分包围第一区域（304）和第二区域（306），所述第一区域和所述第二区域适于通过至少一个通道（314）彼此连通；以及支撑装置（316），所述支撑装置（316）用于支撑适于保持所述至少一个工件的承载件（102），且所述支撑装置适于支撑承载件，使得所述至少一个工件位于所述第一区域（304）中以用于处理，其特征在于，所述设备包括压差产生装置，所述压差产生装置用于在所述第一区域和所述第二区域之间产生压差（P2–P1），所述第二区域的所述至少一个压力（P1）比所述第一区域的所述至少一个压力（P2）低，以迫使所述至少一个工件朝着所述承载件，所述至少一个通道（314）适于当所述承载件（102）被所述支撑装置（316）支撑时与所述第一区域（304）和所述第二区域（306）均连通，并且所述压差产生装置适于引导介质流或媒介流从所述第一区域通过所述至少一个通道而流动到所述第二区域，以便至少部分地产生所述压差。