发明名称 一种铜铟镓硒太阳能电池用硫化铟缓冲层薄膜的制备方法
摘要 本发明涉及一种铜铟镓硒太阳能电池用In2S3缓冲层薄膜的制备方法:步骤1,清洗基体,步骤2,配制反应溶液,取一定量的InCl3·4H2O、CH3CSNH2和CH3COOH溶液置于一容器中并控制In离子和S离子浓度比在1:2~1:10范围内,调节混合溶液的pH值,得到反应溶液,步骤3,沉积In2S3缓冲层薄膜,将基体固定于反应溶液中,将容器用铝纸密封,在一定温度下搅拌,反应完全后得到沉积有In2S3缓冲层薄膜的基体,步骤4,除杂。本发明所制备的In2S3缓冲层薄膜的可见光透过率超过85%,能带隙达2.7eV,可作为代替CdS薄膜的CIGS太阳能电池用缓冲层薄膜。
申请公布号 CN103311364A 申请公布日期 2013.09.18
申请号 CN201210510057.7 申请日期 2012.12.02
申请人 上海理工大学 发明人 李伟;刘平;王卫兵;马凤仓;刘新宽;陈小红;何代华
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 代理人 郁旦蓉
主权项 一种铜铟镓硒太阳能电池用In2S3缓冲层薄膜的制备方法,由化学水浴法在基体上反应合成In2S3缓冲层薄膜,其特征在于,包括如下步骤:步骤1,清洗所述基体,将所述基体依次用丙酮、乙醇在超声波中分别清洗一段时间,再用去离子水冲洗彻底后放在保温箱里面烘干;步骤2,配制反应溶液,取一定量的InCl3·4H2O、CH3CSNH2和CH3COOH(AC)溶液置于一容器中配制成混合溶液,控制所述混合溶液中In离子和S离子浓度比nIn:nS在1:2~1:10范围内,并调节所述混合溶液的pH值,使所述pH值在一定范围内,得到反应溶液;步骤3,沉积In2S3缓冲层薄膜,将装有所述反应溶液的所述容器放入一定温度的恒温水浴槽中,并将所述基体固定于所述反应溶液中,然后将所述容器用铝纸密封,在磁力搅拌器的搅拌下,所述基体与所述反应溶液发生反应,反应完全后得到沉积有所述In2S3缓冲层薄膜的基体;步骤4,除杂,将所述沉积有In2S3缓冲层薄膜的基体取出,并用去离子水去除其的表面杂质,然后将其放在保温箱内烘干。
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