白色光干涉测量装置

摘要

本发明提供一种白色光干涉测量装置，其包括干涉物镜、出射白色光束的白色光源、使白色光束反射的分束器，该干涉物镜使由分束器反射的白色光束在光轴的方向上会聚而照射于测量工件，并且使从测量工件反射得到的测量光束与从向测量工件会聚的白色光束分支得到的参照光束相干涉，该白色光干涉测量装置在白色光源与干涉物镜之间具有将向干涉物镜入射的白色光束校正为圆偏振光的偏振光校正部。

主权项

一种白色光干涉测量装置，其包括干涉物镜、出射白色光束的白色光源、使该白色光束反射的分束器，该干涉物镜使由该分束器反射的该白色光束在光轴的方向上会聚而照射于测量工件，并且使从该测量工件反射得到的测量光束与从向该测量工件会聚的该白色光束分支得到的参照光束相干涉，其特征在于，该白色光干涉测量装置在上述白色光源与上述干涉物镜之间具有将向该干涉物镜入射的上述白色光束校正为圆偏振光的偏振光校正部件。