用于测试光阻剥离液中水分含量的溶液及测试方法

摘要

本发明提供了一种用于测试光阻剥离液中水分含量的溶液，所述光阻剥离液中包含有有机脂肪胺，所述测试溶液为芳香族有机酸，其中，通过芳香族有机酸中和有机脂肪胺，使得光阻剥离液呈弱酸性。芳香族有机酸的质量为其当量质量的1.2～1.5倍，所述有机脂肪胺为单乙醇胺，所述芳香族有机酸为苯甲酸或水杨酸。在有机脂肪胺类的剥离液中加入过量的芳香族有机酸类，控制芳香族有机酸与剥离液的比例，在惰性溶剂中预先中和有机脂肪胺，既能保证有机脂肪胺与芳香族有机酸能完全反应，又不会使得芳香族有机酸过量太多以至于影响溶液的PH值，过量的芳香族有机酸不会破坏体系的平衡，避免副反应的发生，量测准确快速，操作简便快速，能节约测试成本和测试时效。

主权项

一种用于测试光阻剥离液中水分含量的溶液，所述光阻剥离液中包含有有机脂肪胺，其特征在于：所述测试溶液为芳香族有机酸，通过芳香族有机酸中和有机脂肪胺，使得光阻剥离液呈弱酸性。