发明名称 被成膜基板、有机EL显示装置和蒸镀方法
摘要 被成膜基板(200)是在排列于规定方向上的多个蒸镀区域(24R、24G)中的各个蒸镀区域形成有蒸镀膜(23R、23G)的被成膜基板,蒸镀膜(24R)具有相对于被成膜基板(200)的法线方向倾斜的倾斜侧面(23s),蒸镀膜(23R)的上述规定方向上的宽度大于蒸镀区域(24R)的所述规定方向上的宽度与所述各蒸镀区域(24R、24G)间的区域(29)的所述规定方向上的宽度之和。
申请公布号 CN103314464A 申请公布日期 2013.09.18
申请号 CN201280005736.7 申请日期 2012.01.13
申请人 夏普株式会社 发明人 园田通;川户伸一;井上智;桥本智志
分类号 H01L51/50(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;G09F9/30(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I 主分类号 H01L51/50(2006.01)I
代理机构 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人 龙淳
主权项 一种被成膜基板,其在排列于规定方向上的多个蒸镀区域中的各个蒸镀区域形成有蒸镀膜,该被成膜基板的特征在于:所述蒸镀膜在所述规定方向上的两侧具有相对于所述被成膜基板的法线方向倾斜的倾斜侧面,所述蒸镀膜的所述规定方向上的宽度大于所述蒸镀区域的所述规定方向上的宽度与所述各蒸镀区域间的区域的所述规定方向上的宽度之和。
地址 日本大阪府