TEM样品的制备方法

摘要

一种TEM样品的制备方法，包括：步骤S1：根据测试之需，设定制样方案；步骤S2：根据所述制样方案将所述样品减薄；步骤S3：对所述减薄后的样品之底部进行U形切；步骤S4：将所述经过U形切的样品旋转90°；步骤S5：在所述样品表面沉积作为保护层的电子束铂和离子束铂；步骤S6：切至目标处进行观测分析；步骤S7：根据所述观测分析结果优化所述制样方案；步骤S8：重复实施步骤S2～S7，直至所制样品符合要求。本发明所述TEM样品的制备方法，可以快速、方便地对按照预定方案制备出的TEM样品进行分析，了解样品的厚度、均匀性、污染程度等各方面情况，辅助调整制样方案，对新结构的TEM样品制备或新TEM样品制备人员的培训具有极大的帮助，推广性强。

主权项

一种TEM样品的制备方法，其特征在于，所述TEM样品的制备方法包括：执行步骤S1：根据测试之需，设定制样方案；执行步骤S2：根据所述制样方案将所述样品减薄；执行步骤S3：对所述减薄后的样品之底部进行U形切；执行步骤S4：将所述经过U形切的样品旋转90°；执行步骤S5：在所述样品表面沉积作为保护层的电子束铂和离子束铂；执行步骤S6：切至目标处进行观测分析；执行步骤S7：根据所述观测分析结果优化所述制样方案；执行步骤S8：重复实施步骤S2～S7，直至所制样品符合要求。