一种图形衬底的制作方法

摘要

本发明公开一种图形衬底的制作方法，包括的步骤有：在衬底上利用旋转机涂布光刻胶，将平行四边形曝光单元拼接于衬底上，将光刻板上的图形采用步进投影的方式曝光衬底上的光刻胶，曝光完成显影后，衬底上形成图案化光刻胶，利用ICP干刻蚀系统，实施衬底图形化刻蚀，转移图案化光刻胶的图形至衬底上。图形衬底采用平行四边形的曝光单元拼接，使得所有图形都可在一个曝光单元完成，曝光单元之间的拼接位置没有图形存在，所以没有图形因拼接造成失真的问题。

主权项

一种图形衬底的制作方法，其特征在于，包括有以下步骤：1)在衬底上利用旋转机涂布光刻胶，将平行四边形曝光单元拼接于衬底上；2)将光刻板上的图形采用步进投影的方式曝光衬底上的光刻胶，曝光完成显影后，衬底上形成图案化光刻胶；3)利用ICP干刻蚀系统，实施衬底图形化刻蚀，转移图案化光刻胶的图形至衬底上。