发明名称 |
一种高温下连续生长石墨烯的装置 |
摘要 |
一种高温下连续生长石墨烯的装置,包括有内设真空室的密封机柜、卷有基底的放料辊轮、用于卷收基底的收料辊轮、加热器、进气机构和真空泵组。基底卷在放料辊轮上,基底的端头穿过坚直高温反应腔连接在收料辊轮上,真空泵组为竖直反应腔提供真空的反应条件,进气机构向竖直反应腔提供石墨烯生长反应气体,加热器为石墨烯生长提供温度条件。本设备克服了石墨烯生长连续制备与高温不兼容的问题,它可以使生长基底在高温下连续、平稳的生长石墨烯,实现大面积均匀石墨烯的规模化制备。 |
申请公布号 |
CN103305806A |
申请公布日期 |
2013.09.18 |
申请号 |
CN201310270021.0 |
申请日期 |
2013.06.28 |
申请人 |
重庆墨希科技有限公司;重庆绿色智能技术研究院 |
发明人 |
李占成;史浩飞;黄德萍;张永娜;魏大鹏;杜春雷 |
分类号 |
C23C16/26(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;C01B31/04(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/26(2006.01)I |
代理机构 |
北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 |
代理人 |
霍本俊 |
主权项 |
一种高温下连续生长石墨烯的装置,其特征在于:所述装置包括有内设真空室的密封机柜、卷有基底的放料辊轮、用于卷收基底的收料辊轮和内设竖直基底通道的加热器,所述放料辊轮、收料辊轮和加热器均安装在真空室内,在加热器的基底通道内设置有用于穿过基底的竖直反应腔,在机柜上安装有连通至竖直反应腔的进气机构,在加热器与收料辊轮之间还设置有用于冷却基底的冷却机构,所述装置还包括有用于给真空室抽真空的真空泵组。 |
地址 |
401329 重庆市九龙坡区凤笙路15号附3号 |