| 发明名称 | 高频加热装置 | ||
| 摘要 | 一种通过采用高频波对基板进行加热的高频加热装置。所述高频加热装置包括产生高频波以对基板进行加热的高频发生器以及向基板反射高频发生器所产生的高频的反射器。 | ||
| 申请公布号 | CN103304131A | 申请公布日期 | 2013.09.18 |
| 申请号 | CN201310071420.4 | 申请日期 | 2013.03.06 |
| 申请人 | 三星康宁精密素材株式会社 | 发明人 | 李会官;尹敬敏;曹瑞英;权润瑛;南真守;朴敬旭;崔宰荣 |
| 分类号 | C03B27/012(2006.01)I | 主分类号 | C03B27/012(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 于未茗;宋志强 |
| 主权项 | 一种高频加热装置，包括：高频发生器，用于产生高频以对基板进行加热；以及反射器，用于向所述基板反射所述高频发生器产生的高频。 | ||
| 地址 | 韩国庆尚北道 | ||