信号线倾斜角测量方法及装置

摘要

本发明公开了一种信号线倾斜角测量方法及装置，方法包括：将待测量基板设置于承载平台上，所述待测量基板包括信号线；提供一光源，控制光源旋转并发射光线以照射信号线外侧面，所述旋转以信号线的长度方向为轴、绕信号线的外侧面进行；在光源旋转过程中，实时的获取光源的旋转角度以及对应旋转角度的光线强度；获取光线强度最大值所对应的旋转角度，并根据光线强度最大值所对应的旋转角度生成信号线倾斜角。本发明能准确的测得信号线倾斜角度，误差小，而且无需切割待测量基板即可完成对信号线倾斜角的测量，过程简洁，能够在发现信号线倾斜角发生异常时进行实时有效的监控。

主权项

一种信号线倾斜角测量方法，其特征在于：所述方法包括以下步骤：将待测量基板设置于承载平台上，所述待测量基板包括信号线，所述信号线包括与所述待测量基板平行的上表面以及位于所述上表面一侧的外侧面；提供一光源，控制光源旋转并发射光线以照射所述信号线外侧面，其中所述旋转以所述信号线的长度方向为轴、绕所述信号线的外侧面进行；在所述光源旋转过程中，实时的获取所述光源的旋转角度以及对应所述旋转角度的光线强度，其中所述光线强度为经所述外侧面反射后的光线的强度；以及获取所述光线强度最大值所对应的旋转角度，并根据所述光线强度最大值所对应的旋转角度生成信号线倾斜角。