发明名称 有机硅烷溶胶-凝胶反应的催化剂合成
摘要 本发明是有机硅烷溶胶-凝胶反应的催化剂合成,提供了包含第一有机硅烷前体和卤化试剂的制剂,其中至少一部分或全部卤化试剂进行反应以提供第二有机硅烷前体。还提供由容易获得的纯物质原位产生这种制剂的方法。进一步提供采用所述制剂作为前体用于可流动汽相沉淀过程的方法。
申请公布号 CN103311119A 申请公布日期 2013.09.18
申请号 CN201310086430.5 申请日期 2013.03.18
申请人 气体产品与化学公司 发明人 萧满超;R·M·皮尔斯泰恩;A·德雷克斯凯-科瓦克斯;雷新建;R·霍;M·L·奥内尔;D·P·斯彭斯;S·G·玛约加
分类号 H01L21/316(2006.01)I 主分类号 H01L21/316(2006.01)I
代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 吴亦华
主权项 一种制剂,包含:(a)具有式I的第一有机硅烷前体,所述式I为:I.R1R2R3R4Si其中R1、R2、R3和R4各自独立地选自氢原子;卤原子;C1‑C12直链或支链烷基;C2‑C12烯基;C2‑C12炔基;C3‑C12芳基;C3‑C12环烷基;C1‑C12烷氧基;C5‑C12芳氧基;C1‑C12酰氧基;C5‑C12芳酰基氧基;异氰酸基;具有式NR5R6的氨基,其中R5和R6独立地选自:氢原子、C1‑C6直链或支链烷基、C3‑C12环烷基和C3‑C12芳基,其中R5和R6连接形成环或R5和R6不连接形成环;以及具有选自下式的烷氧基甲硅烷基烷基:‑CH2Si(OR7)nR83‑n和‑CH2CH2Si(OR7)nR83‑n,其中R7和R8独立地选自:氢原子、C1‑C6直链或支链烷基、C3‑C12环烷基和C3‑C12芳基,其中R7和R8连接形成环或R7和R8不连接形成环,且其中在所述烷氧基甲硅烷基烷基中,n是0‑3的数,且其中所述第一有机硅烷前体包含至少两个选自下组的可水解键:Si‑H、Si‑O和Si‑N键;(b)任选地具有式II的卤化试剂,所述式II为:II.R9C(O)X其中X是卤原子且R9选自氢原子;C1‑C12直链或支链烷基;C3‑C12芳基;C3‑C12环烷基;C1‑C12直链或支链酰基;C5‑C12芳酰基和C1‑C12直链或支链卤化酰基;(c)第二有机硅烷前体,选自:(1)具有式III的化合物,所述式III为:III.XSiR1R2R3其中X是选自F、Cl、Br和I的卤原子;且R1、R2和R3各自独立地选自氢原子;卤原子;C1‑C12直链或支链烷基;C2‑C12烯基;C2‑C12炔基;C3‑C12芳基;C3‑C12环烷基;C1‑C12烷氧基;C5‑C12芳氧基;C1‑C12酰氧基;C5‑C12芳酰基氧基;异氰酸基;以及具有选自下式的烷氧基甲硅烷基烷基:‑CH2Si(OR7)nR83‑n和‑CH2CH2Si(OR7)nR83‑n,其中R7和R8独立地选自: 氢原子、C1‑C6直链或支链烷基、C3‑C12环烷基和C3‑C12芳基,其中R7和R8连接形成环或R7和R8不连接形成环,且其中在所述烷氧基甲硅烷基烷基中,n是0‑3的数,且其中所述第二有机硅烷前体中取代基R1、R2和R3的至少一个形成Si‑H、Si‑卤素、Si‑O或Si‑N键;和(2)具有式IV的化合物,所述式IV为:IV.(R5R6N)nSiH4‑n其中R5和R6独立地选自:氢原子;C1‑C6直链或支链烷基;C3‑C12环烷基和C3‑C12芳基,其中R5和R6连接形成环或R5和R6不连接形成环,且n=1、2、3或4,且其中至少一部分或全部卤化试剂与所述第一有机硅烷前体反应以提供所述第二有机硅烷前体。
地址 美国宾夕法尼亚州