发明名称 |
一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏 |
摘要 |
本实用新型公开了一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏,所述热屏包括由若干钨片同轴叠置而成的第一钨片组,所述钨片设有开孔,所述开孔直径由上往下依次减小。本实用新型可以增加中心区域的散热,减少边缘区域的辐射散热。退火时,可以增加中心区域的降温速率,使晶体温度分布更加均匀,最大温差减小,从而减少晶体开裂。增加保温效果,降低运行功率,节约成本,提高晶体成品率。 |
申请公布号 |
CN203200377U |
申请公布日期 |
2013.09.18 |
申请号 |
CN201320161557.4 |
申请日期 |
2013.04.02 |
申请人 |
苏州海铂晶体有限公司 |
发明人 |
娄中士;方建雄;金启源 |
分类号 |
C30B29/20(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/20(2006.01)I |
代理机构 |
南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 |
代理人 |
李凤娇 |
主权项 |
一种蓝宝石晶体生长炉的阶梯状热屏,其特征在于:所述热屏包括由若干钨片(3)同轴叠置而成的第一钨片组(1),所述钨片(3)中央设有开孔(4),所述开孔(4)直径由上往下依次减小。 |
地址 |
215437 江苏省苏州市太仓市沙溪镇岳王台南路5号 |