发明名称 一种钛基铂膜微天平传感器
摘要 本实用新型提供了一种钛基铂膜微天平传感器,该传感器包括一个石英晶体片(1),所述石英晶体片(1)表面是镀钛膜层(2),所述镀钛膜层(2)表面是镀铂膜层(3),形成一种钛基铂膜微天平传感器。本实用新型的效果和益处在于所述钛基铂膜微天平传感器具有制作简单、使用方便、灵敏度高、抗腐蚀性和稳定性好等优点,优于传统的石英晶体微天平传感器。
申请公布号 CN203203669U 申请公布日期 2013.09.18
申请号 CN201320232818.7 申请日期 2013.05.03
申请人 长沙理工大学 发明人 曹忠;曹婷婷;吴玲;黄大凯;宋天铭;肖忠良
分类号 G01G3/16(2006.01)I 主分类号 G01G3/16(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种钛基铂膜微天平传感器,其特征是:该传感器包括一个石英晶体片(1),所述石英晶体片(1)表面是镀钛膜层(2),所述镀钛膜层(2)表面是镀铂膜层(3),形成一种钛基铂膜微天平传感器。
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