薄膜晶体管、液晶显示面板及其制造方法

摘要

本发明公开一种薄膜晶体管、液晶显示面板及其制造方法。该液晶显示面板将透明导电层直接形成薄膜晶体管的第一电极与第二电极，同时该透明导电层也作为薄膜晶体管与数据线之间以及薄膜晶体管与液晶电容之间的连接线。因此，薄膜晶体管上方无须另外形成一接触窗来提供接触点，如此，在像素设计上可提供更大的弹性，也可提供更高的开口率。

主权项

一种液晶显示面板的制造方法，包含：提供一玻璃基板；蚀刻形成于所述玻璃基板上的第一金属层，以形成一数据线；依序沉积一第一钝化层和一第二金属层于所述玻璃基板以及所述第一金属层上；蚀刻所述第二金属层，以形成一开关单元的控制电极；依序沉积一隔离层以及一主动层于所述第一钝化层以及所述第二金属层上；同时蚀刻所述主动层以保留所述控制电极上方的所述主动层，其中所述主动层作为所述开关单元的传输通道；蚀刻所述数据线上方的所述第一钝化层以及所述隔离层，以于所述数据线上方形成一接触窗；沉积一透明导电层于所述隔离层、所述数据线以及所述主动层上；沉积一光阻于所述透明导电层之上；对所述光阻进行曝光显影，并蚀刻所述透明导电层以于所述主动层的上方形成一通孔，同时将所述透明导电层分为第一导电层和第二导电层，其中所述数据线经过所述接触窗上的所述第一导电层电性连接所述主动层，且所述主动层电性连接所述第二导电层；沉积一第二钝化层于所述光阻、所述隔离层和所述通孔之上；以及剥离所述光阻以及所述光阻上的所述第二钝化层，使得未剥离的第二钝化层覆盖于所述通孔上。