发明名称 |
切割/芯片接合薄膜 |
摘要 |
提供一种切割薄膜与芯片接合薄膜之间的成分迁移受到抑制、并且切割时的半导体晶圆保持力和拾取时的剥离性优异的切割/芯片接合薄膜。本发明的切割/芯片接合薄膜具备第一粘合剂层和第二粘合剂层,该第一粘合剂层包含聚烯烃系树脂,该第二粘合剂层包含选自丙烯酸系树脂、环氧系树脂和酚醛系树脂中的至少一种。 |
申请公布号 |
CN103305144A |
申请公布日期 |
2013.09.18 |
申请号 |
CN201310074897.8 |
申请日期 |
2013.03.08 |
申请人 |
日东电工株式会社 |
发明人 |
田中俊平;土生刚志;龟井胜利 |
分类号 |
C09J7/02(2006.01)I;C09J7/00(2006.01)I;C09J123/12(2006.01)I;C09J123/14(2006.01)I;C09J133/00(2006.01)I;C09J163/00(2006.01)I;C09J161/06(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I |
主分类号 |
C09J7/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;李茂家 |
主权项 |
一种切割/芯片接合薄膜,其具备第一粘合剂层和第二粘合剂层,该第一粘合剂层包含聚烯烃系树脂,该第二粘合剂层包含选自丙烯酸系树脂、环氧系树脂和酚醛系树脂中的至少一种。 |
地址 |
日本大阪府 |