发明名称 切割/芯片接合薄膜
摘要 提供一种切割薄膜与芯片接合薄膜之间的成分迁移受到抑制、并且切割时的半导体晶圆保持力和拾取时的剥离性优异的切割/芯片接合薄膜。本发明的切割/芯片接合薄膜具备第一粘合剂层和第二粘合剂层,该第一粘合剂层包含聚烯烃系树脂,该第二粘合剂层包含选自丙烯酸系树脂、环氧系树脂和酚醛系树脂中的至少一种。
申请公布号 CN103305144A 申请公布日期 2013.09.18
申请号 CN201310074897.8 申请日期 2013.03.08
申请人 日东电工株式会社 发明人 田中俊平;土生刚志;龟井胜利
分类号 C09J7/02(2006.01)I;C09J7/00(2006.01)I;C09J123/12(2006.01)I;C09J123/14(2006.01)I;C09J133/00(2006.01)I;C09J163/00(2006.01)I;C09J161/06(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I 主分类号 C09J7/02(2006.01)I
代理机构 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇;李茂家
主权项 一种切割/芯片接合薄膜,其具备第一粘合剂层和第二粘合剂层,该第一粘合剂层包含聚烯烃系树脂,该第二粘合剂层包含选自丙烯酸系树脂、环氧系树脂和酚醛系树脂中的至少一种。
地址 日本大阪府