光谱仪、包含该光谱仪的图像评价单元和图像形成装置

摘要

一种光谱仪，包括将光束投射至目标物的光源；包括多个孔径的光学元件，其中被目标物反射的光束传输通过该孔径；用于从传输通过该光学元件的多个光束中形成衍射图像的衍射元件；和光接收元件，用于接收由衍射元件形成的衍射图像，且包括以遮蔽除了特定级数衍射图像以外的衍射图像的光学屏蔽。

主权项

一种光谱仪，包括：将光束投射至目标物的光源；包括多个孔径的光学元件，其中被所述目标物反射的光束通过该孔径透射；从透射过所述光学元件的多个光束形成衍射图像的衍射元件；以及光接收元件，该光接收元件接收由所述衍射元件形成的衍射图像，且包括光学屏蔽以遮蔽除了特定级数衍射图像以外的衍射图像。