发明名称 |
一种MOCVD设备及其加热装置 |
摘要 |
本发明提供一种加热装置及使用该加热装置的MOCVD设备,加热装置包括至少两个相互间隔的加热区,用于对应加热相对设置的衬底托盘,所述至少两个加热区具有面向同一侧的加热面,相邻加热区之间具有间隙,其特征在于,加热装置还包括隔热板,隔热板对应所述间隙设置,用于阻挡加热面一侧的热辐射通过所述间隙散失。本发明还提供具有这种加热装置的MOCVD设备,以解决在气相沉积工艺过程中,对位于加热装置上的衬底托盘进行薄膜沉积时,衬底托盘局部温度过低,导致衬底托盘加热不均匀出现的膜层厚度不均匀的问题。 |
申请公布号 |
CN103305815A |
申请公布日期 |
2013.09.18 |
申请号 |
CN201310225203.6 |
申请日期 |
2013.06.06 |
申请人 |
光垒光电科技(上海)有限公司 |
发明人 |
孙仁君 |
分类号 |
C23C16/46(2006.01)I;C23C16/18(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/46(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 |
代理人 |
杨林;李友佳 |
主权项 |
一种加热装置,所述加热装置包括至少两个相互间隔的加热区,用于对应加热相对设置的衬底托盘,所述加热区具有面向衬底托盘的加热面,相邻加热区之间具有间隙,其特征在于,加热装置还包括隔热板,所述隔热板对应所述间隙设置,用于阻挡加热面一侧的热辐射通过所述间隙散失。 |
地址 |
200050 上海市长宁区延安西路889号1106B室 |