一种微机械电容式顷角传感器

摘要

本发明公开了一种微机械电容式顷角传感器包括半导体片和设置在半导体片上的外围电极、第一半圆形电极及第二半圆形电极，第一半圆形电极和第二半圆形电极对称设置在外围电极内；外围电极与第一半圆形电极及第二半圆形电极之间的槽内填充有绝缘液体介质，外围电极的上方设有用于对绝缘液体介质进行密封的密封装置；第一半圆形电极与外围电极组成第一电容，第二半圆形电极与外围电极组成与第一电容对称的第二电容。本发明的第一电容与第二电容相对称，电容差分输出，分辨率高且可排除寄生电容的影响；本发明体积小、工艺简单，灵敏度高。

主权项

一种微机械电容式顷角传感器，其特征在于，包括半导体片（1）和设置在半导体片（1）上的外围电极（2）、第一半圆形电极（3）及第二半圆形电极（4），所述第一半圆形电极（3）和第二半圆形电极（4）对称设置在外围电极（2）内；所述外围电极（2）与第一半圆形电极（3）及第二半圆形电极（4）之间的槽（6）内填充有绝缘液体介质（5），外围电极（2）的上方设有用于对绝缘液体介质（5）进行密封的密封装置；所述第一半圆形电极（3）与外围电极（2）组成第一电容，所述第二半圆形电极（4）与外围电极（2）组成与第一电容对称的第二电容；所述外围电极（2）、第一半圆形电极（3）及第二半圆形电极（4）上分别设有外围电极引线、第一半圆形电极引线及第二半圆形电极引线；所述密封装置上设有外围电极引线孔、第一半圆形电极引线孔及第二半圆形电极引线孔；所述外围电极引线、第一半圆形电极引线及第二半圆形电极引线分别贯穿外围电极引线孔、第一半圆形电极引线孔及第二半圆形电极引线孔与外部电容大小检测装置相连接。